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技術(shù)文章

常見的真空爐真空測量方法

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常見的真空爐真空測量方法

、壓縮式真空計

壓縮式真空計,上接根頂端封閉的毛細管,下端與“Y”形管的端口相接,“Y”形管下方接汞儲存器,使用時,將真空系統(tǒng)與“Y”形管口相接,轉(zhuǎn)動真空計,是汞壓縮氣體,再轉(zhuǎn)至垂直位置讀取“測量毛細管”與“比毛細管”的液面差,即為所測真空度。壓縮真空計優(yōu)點在于測量的性高,可作為真空計量的標準器。他的缺點是使用不夠方便,反應(yīng)緩慢,不能連續(xù)測量。由于壓縮式真空計是根據(jù)氣體定律制作的,只能測量性氣體分壓強,而不能測量蒸氣壓。在蒸汽分壓較大的真空系統(tǒng)中,壓縮式真空計的讀數(shù)不能標志其真空度。

二、熱導(dǎo)式真空計

利用真空系統(tǒng)中分子數(shù)與傳導(dǎo)熱量有關(guān)的原理制成熱導(dǎo)式真空計,電阻真空計和熱偶真空計兩種。通過電流時溫度升高,周期氣體被加熱,規(guī)管管壁溫度低,依靠周圍存在的氣體分子傳導(dǎo)熱量,電阻絲溫度變化,即反應(yīng)了存在氣體分子多少。直接測量電阻絲的溫度很不方便,由于電阻絲的電阻值與溫度有關(guān),故可用電橋測出其電阻數(shù)值。熱導(dǎo)式真空計的優(yōu)點是:1,可測量總壓強;2,能連續(xù)測量;3,使用方便,可用導(dǎo)線進行遠距離測量;4,結(jié)構(gòu)簡單,易于制造;其缺點是:1,有熱慣性,當壓強變化很快時,反應(yīng)滯后;2,外界溫度對測量結(jié)果有定的影響;3.電阻絲表面情況改變,可造成零點漂移,影響讀數(shù)。
 

三、電離真空計

是以氣體的電離現(xiàn)象為基礎(chǔ)來測量真空度大小的,可分為熱陰電離真空計和磁控放電真空計兩類。當在各加上定電源時,燈絲處于白熾狀態(tài),發(fā)出熱電子。這些電子與管內(nèi)氣體分子碰撞,使氣體電離,產(chǎn)生整離子。證離子為離子收集,形成電流,隨著壓強的變化,電流也有變化。測量電流的大小,即可測出真空。熱陰電離真空計的優(yōu)點是:1,可測總壓強;2,可連續(xù)測量;3,測量范圍廣,靈敏度很高;4,電離計規(guī)管體積小,可直接連通要測位置;5,對機械振動不敏感,慣性??;6,校準曲線是直線性;其缺點是:1,讀數(shù)與氣體種類有關(guān),不同氣體要做不同曲線;2,燈絲是白熾狀態(tài),真空系統(tǒng)突然漏氣或壓強突然升高,會使燈絲損壞;3,氣體被吸附在陰和收集表面,易產(chǎn)生測量誤差;4,在低壓強時,規(guī)管外殼與電放電現(xiàn)象影響讀數(shù);

磁控放電真空計也是利用氣體放電原理,但在規(guī)管中沒有熱陰。規(guī)管中有兩個平行陰,兩個平行板中間有個框型電。整個規(guī)管的電部分都在磁場之中。由于外加磁場的作用和陽的框型,容易使電子穿越,造成電子在空間做來回多次的螺旋運動。增加電離的效果,真空計的靈敏度則隨之提高。其優(yōu)點是:1,沒有熱陰存在,不會因漏氣而損害燈絲;2,測量總壓強,可連續(xù)測量;3,放電電流大,電路使用儀表簡單;4,結(jié)構(gòu)牢固,對外界不敏感;其缺點是:在壓強條件下,它的靈敏度不及熱陰電離真空計高,對不同氣體也需要不同校準曲線。

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